DKMX10光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。DKMX10的白光干涉仪可以埃 级分辨率对表面进行高分辨率测量。该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统 的相干扫描干涉技术（CSI）。DKMX10进一步扩展了这些技术，它采用SMARTAcquire为新 手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。 DKMX10测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野 范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增 加。DKMX10的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。