突破纳米级镜面偏转难题，超精密镜面位移检测、控制方案，就选英国真尚有纳米级差动电涡流传感器ZED51/52!

应用背景

定位转向镜面来获取，追踪，定位(ATP)激光信号，一般用在通信和研究上面。

定位镜面的过程中，可以确保非常高的精度在亚微米弧度的范围内，可使激光准地射到数百公里以外的目标。

测量方案

采用四个电涡流传感器探头-一对传感器对应一个轴方向-安装在镜面后面以检测其运动位移（如图1所示）。每个传感器的作用相当于平衡桥路的一条腿，当镜子旋转时，桥便失去平衡，这里传感器提供一个双极性输出电压，这个电压跟镜面的位移成正比。因ZED51/52电涡流传感器具有1nm的动态分辨率（静态分辨率0.1nm）以及超长的时间稳定性，所以镜面出现纳米级偏移都可以被准备检测到并且反馈给闭环系统进行调节。

方案选用的产品：ZED51/52纳米级差动电涡流传感器

ZED51/52纳米级差动电涡流传感器主要特点：

非接触：用电涡流技术，传感器可以在不接触被测目标的情况下进行测量，测量结果精确，可靠性高。

高分辨率：测量镜面角位移的精确度可达亚微弧度，它仅受限于传感器的安装。

灵活性：多传感器配置可容纳多种测量范围和其他性能方面的考虑，比如说镜子的尺寸或者位移。

体积小易安装：ZED51尺寸很小（2.12X2.00X0.75英寸），重量轻（70g）。

用途广泛：ZED51除了可以用于定位镜面，还可用于通讯卫星的激光夜视镜测距。

ZED51/52纳米级差动电涡流传感器测量原理：

差分测量系统是精密测量技术的重大进步。它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度，用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。

对于差分测量应用，每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中，当目标远离一个传感器时，它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了卓越的热稳定性。