MP执行器是一个低电压的压电转换设备，有各种各样的量程，以适应各种定制应用。开环压电转换设备理论上有无限的分辨率并且只是受限于驱动器上的电压噪声。它的量程可以从15-105um，甚至进一步进行机械放大。
每个执行器内部预装以确保可以获得一个高拉力，以及作为一个强大的推动力。它们的回转速度受限于电子元件上的驱动电流。当没有使用传感器时，10％- 15％的固有滞后限制其精度。
低电压；
尺寸紧凑；
高强度；
内部预装 - 高拉力；
VAC和UVAC选项；
广泛应用的附件；
显微镜； 波束控制； 自定义闭环系统等
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | ||||
静态参数 |
| |||||||
型号 |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
|
材料 |
| 不锈钢 |
|
| ||||
长度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
|
直径 |
| 10 | mm |
| ||||
线缆长度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移动范围 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
|
最大负荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
刚度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
|
电容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
|
动态参数 |
| |||||||
工作温度 |
| +10~+50 | ℃ |
| ||||
工作电压 |
| -20~-120 | VDC |
| ||||
储存温度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相对湿度 |
| 5~95（无冷凝） | % |
| ||||
误差 |
|
|
|
| ||||
*磁滞（峰值） | δxp·hyst | ≤13 | % |
| ||||
*线性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② | ||||
注意：
*这些参数由各转换器实测并提供的。
①、这是MP在Z轴方向最大能承受的负载。
②、满量程的相对误差。
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