数字压电转换器(DP)是一个压电转换设备,具有很高的线性度和非常完美的重复性,量程最大70μm,最小15um,延迟小于1nm。
普通压电转换器是非线性的,而且表现出滞后和不稳定的现象。为了克服这些不足之处,每个DP转换器都会内置一个位置传感器。这种传感器的输出控制电压消除滞后、非线性和输出不稳定的情况。每个DP转换器都会提供一个校准曲线,它可以作为一个基础,用于修正非常微小的非线性误差。
位置检测电路和压电驱动放大器已经微型化封装在独立的DP控制器,只需要给它提供±15V的电压就可以工作。这使得DP转换器非常适合于OEM应用。DP控制器跟模拟输入,14位并行数字接口,状态行和准备信号就可以组成一个完善系统。
DP转换器要能工作,最少需要一个DP控制器。对于实验室应用,如果要使用三个以上的DP控制器,可以安装在一个AX301主机里面,AX301提供位置显示,可选IEEE488,RS232和并行接口,并允许手动控制DP转换器。
外壳材料用不胀钢和微晶玻璃;
15、35、70um的移动距离;
分辨率高达纳米级;
1ms响应时间;
安装方便简洁;
特别适用于OEM应用;
扫描显微探针;
硬盘磁头测试;
近场扫描光学显微镜;
精密工程……
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | |||
静态参数 |
| 4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V |
|
| |||
型号 |
| S | M | L |
|
| |
材料 |
| 不胀钢和微晶玻璃 |
|
| |||
长度 |
| 42.2±0.3 | 76.7±0.3 | 127.8±0.3 | mm |
| |
直径 |
| 20±0.15 |
|
| mm |
| |
净重(不包含电缆和接头) |
| 70 | 110 | 170 | g |
| |
线缆长度 |
| 2040±40 |
|
| mm |
| |
*移动范围 | dxp·max | >15 | >35 | >70 | μm |
| |
最大负荷 |
| 5 | 5 | 5 | Kg | ① | |
动态参数 |
| ||||||
工作温度 |
| +10~+50 |
|
| ℃ |
| |
储存温度 |
| 0~+70 |
|
| ℃ |
| |
相对湿度 |
| 5~95(无冷凝) | % |
| |||
工作压力 | -VAC | 10-3~10-5 | t |
| |||
-UVAC | 10-3~10-9 | t |
| ||||
响应时间 | txs·s | 1 | 4.3 | 25 | ms |
| |
*位置噪音(1δ) | δXp·n | 1(使用低噪声控制器为0.5) | nm | ② | |||
误差 |
|
|
|
| |||
*磁滞 | δxp·hyst | ≤1 | nm |
| |||
*线性度 | δxp·lin | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | % | ③ | |
重复性 |
| ≤1 | nm |
|
注意:
这些参数由各转换器实测并提供的。
DP在Z轴方向最大能承受的负载。
②、真实位置噪声。
③、满量程的相对误差。
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