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NM-X-5A

NM-X-5A尺寸小,毫秒级响应时间,应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量、高刚度,而且可以用于极端高的带宽环境。
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器,NM-X-5A可以实现高于纳米级的响应。

返回列表
- 主要特点-
  • >5微米运动范围,高于纳米级分辨率;

  • 振荡频率>8K;

  • 小于微秒级响应时间(负载5g);

  • 现场扫描和步骤反应最优化;

  • 高稳定性;

  • 即插即用,低停机时间;


-应用领域-

磁头和硬盘测试; 

干涉测量……


- 技术规格-

参数

符号

单位

备注


静态参数

 


 

 

最小

标准

最大

 

 


材质

 

 

 


尺寸

 

23(长)×16.5(宽)×7.6(高)

mm

 


*范围

dxp·max


6.5

 

μm

 


*比例因子

bx1

 

1

 

μm


*比例因子误差

δbx1

 

小于0.1


%


共振频率(空载)

f0·0


8000

 

Hz

 


最大负载

 

 

 

5

g


动态参数

 


3dB带宽

Bx·p


500


Hz

 


*信号响应时间

txs·s


1.6


ms


*位置噪音

δXp·n


0.1


nm

误差

 


*磁滞(峰峰值)

δxp·hyst

 

0.1

0.2

%


*线性度(峰值)

δxp·lin

 

0.1

0.2

%


注意:

*这些参数由各转换器实测并提供。

①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。

②、这是Z轴可承受的最大负载。

③、这是2%的响应时间,这是伺服系统的闭环参数,用户可以控制,测试单位是500nm;

④、实际的位置噪音;

⑤、位移的百分比,意思是位移为1um则磁滞小于1nm。

⑥、误差为满量程的百分比。

- 测量原理-

正在更新,请稍后……

- 行业解决方案-

正在更新,请稍后……


- 成功案例-

正在更新,请稍后……


- 安装尺寸-

正在更新,请稍后……

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