在电容位移测量领域,英国真尚有的ZNX40X电容位移传感器凭借其卓越的性能和优势脱颖而出。该传感器具有亚纳米级的分辨率,能够在极小的范围内实现高精度测量,特别适合于对晶圆表面微小缺陷的检测。同时,ZNX40X提供优秀的温度稳定性,能够在±5μm至2mm的短距离内进行非接触式测量,这对于各种环境下的应用显得尤为重要。其标准模拟输出接口设计也方便了与A/D板的连接,确保数据处理的简便性。
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