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英国真尚有_低成本_相位法电涡流传感器|0.1nm电涡流位移传感器|ZED97

低成本相位法电涡流传感器ZED97是一款专门为客户定制的OEM电涡流位移传感器,可测非导磁体和铁磁材料,有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率,符合CE和ROHS标准,尺寸小巧,并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。



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低成本相位法电涡流位移传感器ZED97主要特点:

  • 尺寸小巧

  • 埃米级分辨率

  • 有1、2或3通道可配电涡流探头

  • 可配13种电涡流探头

  • 工作温度:0~70ºC(补偿范围15~55ºC)

  • 符合CE和RoHS标准

  • 输出负载电流<20ma(有短路和过载保护)< span="">

  • 供电电压:15~30V,<50ma(有容错保护、短路保护)< span="">

低成本相位法电涡流位移传感器ZED97应用领域:

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

   


低成本相位法电涡流位移传感器ZED97技术规格:

低成本相位法电涡流位移传感器ZED97测量原理:

   ZED97涡流的影响不仅与幅值有关,而且与相位有关。这个电路是基于相位检测而不是幅度检测。具体来说,相位检测是基于脉冲宽度调制(PWM)技术。由于噪声基本上是一种幅度敏感现象,相位检测技术提供了一个较低的噪声底。在利用幅值变化的系统中,系统中充满了运放,并带有固有的噪声。所使用的PWM技术不需要高增益运算放大器,这使得系统输出具有非常低的噪声。专有的PWM电路允许优化温度稳定性或线性。

低成本相位法电涡流位移传感器ZED97应用领域:

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

   



低成本相位法电涡流位移传感器ZED97应用领域:

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

   



低成本相位法电涡流位移传感器ZED97安装尺寸:

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