ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。

ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。

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CWCS10纳米级电容传感器采用电容式测量原理，无需接触被测物即可测量传感器与被测物表面之间的距离，并且具有纳米级的分辨率。

CWCS10纳米级电容传感器的最高工作温度受连接器内部焊接材料的熔化温度限制，标准探头也能在接近绝对零度的极低温度下进行测量。并且由于传感器的灵敏度容差很小，因此更换探头后无需重新校准仍然可以保证 ±0.5% 的总精度。对于特殊应用，纳米级电容传感器CWCS10的输出电压的灵敏度还可以调整为 0 到 10 倍。

CWCS10纳米级电容传感器测量受电介质特性的影响。通常用于空气中的测量，传感器和目标之间的区域应该完全没有灰尘、油或水。如有必要，这可以通过将空气吹过传感器和目标之间的间隙来实现。

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LP-IM200皮米级干涉位移传感器是一种功能强大的非接触式位移测量系统。该控制器包含激光、探测电子器件，并通过多个接口提供所有数据。LP-IM200干涉仪控制器包含一个激光源和所有必要的电子器件来评估光信号。强大的固件模块，方便的软件和多功能的配件允许轻松集成LP-IM200干涉仪控制器到新的或已经存在的测量设置。

针对不同的应用情况，还可以提供多个不同的可选传感器头及配件：

（1）、一般用途的紧凑型传感器头，具有许多方便的功能。

（2）、具有准直光束的传感器头，可用于远距离和反向反射目标。 

（3）、具有聚焦光束的传感器头具有较高的对准公差。

（4）、线聚焦光束用于圆柱形目标的传感器头。

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