系统性能

重复性

±5nm

精度（175mm×175mm）*

±200nm

精度（380mm×380mm）*

±1.0μm

*（温度变化±0.25℃）

最大速度

700mm/s

编码器到探头间距

12.0±0.1mm

测量区域
（其它区域可选）

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作温度

+10°C～+40°C

存储温度

–20°C～+50°C

NG探头

尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外壳材料

6061-T6铝

光源（785nm）

Class IIIb，3mw，激光二极管

重量（不包括线缆）

110g

接口线缆

3m，15针接头

双轴高分辨率处理器

分辨率

LSB = 5μm ÷ 214 ≈0.305 nm

更新频率/轴

375KHz（并行输出）

范围（785nm）

～1300mm（全部32位）

数据传输时间

<8μs；静态<25ns< span="">

接口

25针测试连接头
2个60针并行连接头
PC兼容的16位ISA总线
15针HD连接探头

输出格式

32位并行字

A-quad-B（可选）

边缘频率: 1.875, 3.75, 7.5, 15MHz
　　　分辨率: 5μm÷2N; N = 9~14;
　　　≈0.3~9.8 nm
频率和分辨率可选

机械性

ISA兼容16位PC板

电源（不包括A-quad-B）

+5VDC (+0.25/-0.13 V)@ 2.2 A;
　　　+12VDC ±0.5V @120 mA;
–12VDC ± 0.5V @70 mA

NG编码器

间距（机械/光学）

10 μm / 5μm

钠钙膨胀系数

7.0 × 10^-6/°C

石英（熔石英）膨胀系数

0.7 × 10^-6/°C

如果想采用其他材料，请咨询工厂