系统性能

重复性

±20nm

精度（175mm×175mm）¹

±200nm 满量程

精度（380mm×380mm）¹

±1.0um 满量程

¹（温度变化±0.25℃）

最大速度²

1400mm/s

²(V-MAX=[最大边缘频率] X [LSB])

编码器到探头间距

12.0±0.1mm

测量区域
（其它区域可选）

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作温度

+10°C～+40°C

存储温度

–20°C～+70°C

NG探头

外形尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外壳材料

6061-T6铝

光源（785nm）

Class IIIb，3mw，激光二极管

重量（不包括线缆）

110g

接口线缆

3m，15针接头

双轴POLARFLASH处理器（A-quad-B）

分辨率（可选）

LSB=5um÷2N；N=5,6,7,8；
≈20、39，78，156nm

最大边缘频率（可选）

1.25，2.5，5，10MHz

数据传输时间

<4us< span="">

输出格式

A-quad-B差分TTL/每根轴

外形尺寸

127mm X 84mm X 24mm

输出格式

32位并行字

供电

+5DVC（±0.25V）@350mA

NG编码器

间距（机械/光学）

10 μm / 5μm

钠钙膨胀系数

7.0 × 10^-6/°C

石英（熔石英）膨胀系数

0.7 × 10^-6/°C

如果想采用其他材料，请咨询工厂