NM2100电子控制器

NM2100是由纳米传感器，高电压放大器和控制电子元件结合作为一个单一通道的独立模块，供电电压有±15V，130V和-30DV电源。使用该控制器可提供压电转换器的闭环位置控制，X-Y平台，镜子转向机制等应用。另外，它还应用于开环控制作为压电控制器和纳米传感器。
电子控制器允许用户优化NM2100闭环响应。闭环控制比开环控制在稳定性和线性度上面有了巨大的提高。
型号：
2100 -标准
2100-20 -扩展输出范围（降低至-20V）
2101 -无纳米传感器的屏幕驱动程序

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主要特点技术规格安装尺寸测量原理成功案例行业解决方案应用领域

亚纳米的分辨率；
线性度可达0.02%；
测量带宽可调（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可调（在不必使用满量程的情况下）；
可选择长（“L”）或短（“-S”）测量量程（2pF或10pF电容）；

磁盘驱动器磁头测试；

膜/晶圆夹头对齐；

扫描探针显微技术；

光腔调整；

干涉测量；

参数	值	单位	备注
静态参数
尺寸	218x77x34	mm
供电电压	±15±1@120mA	VDC
	±120~+130@30mA	VDC
	-32~-27@30mA	VDC	①
传感器输出	-5~+5	V	②
模拟输入范围	-10~+10	V
数字输入D/A分辨率	14	Bits
纳米传感器动态参数
比例因子	0.1~0.01	GV^-1	③
噪音水平(-S)	＜0.3	ppmHz^-1/2rms	④
噪音水平(-L)	＜0.15	ppmHz^-1/2rms	④
热漂移	5	ppmK^-1Typ	④
预热时间	10	分钟
预热漂移	80	ppm	④
聚苯乙烯扰	10	ppmV^-1	④
线性度	＜0.2	%	⑤
带宽	50,500,5000±10%	Hz	⑥
高压放大器的动态参数(典型值)
输出电压(2100)	0~+120	V
输出电压(2100-20)	-20~+120	V
带宽	5	KHz	⑦
模拟输入增益	6	V/V	⑧
数字输入增益	7.3	mV/bit	⑧
噪音	0.2	mVms	⑨
最大电流	50	mA

注意：

①、负电源，仅限于2100-20型号中。

②、量程可调在内降低性能的情况下。

③、 G就是距离的意思，比例因子是通过侧面面板的选择开关来调整。

④、 PPM是指每百万分之一距离变化。

⑤、线性误差取决于传感器安装精度0.02%的线性误差是可以实现的。请联系真尚有公司洽谈详情。

⑥、带宽是通过侧面面板的选择开关来调整。

⑦、典型的，取决于执行机构。

⑧、只限于开环控制。

⑨、一般情况。

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