NM-X-5A尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量、高刚度，而且可以用于极端高的带宽环境。
电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，NM-X-5A可以实现高于纳米级的响应。
>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；
振荡频率>8K；
小于微秒级响应时间(负载5g)；
现场扫描和步骤反应最优化；
高稳定性；
即插即用，低停机时间；
磁头和硬盘测试；
干涉测量……
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | ||||||
静态参数 |
| |||||||||
|
| 最小 | 标准 | 最大 |
|
| ||||
材质 |
| 铝 |
|
| ||||||
尺寸 |
| 23（长）×16.5（宽）×7.6（高） | mm |
| ||||||
*范围 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
| |||||
*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子误差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振频率（空载） | f0·0 | 8000 |
| Hz |
| |||||
最大负载 |
|
|
| 5 | g | ② | ||||
动态参数 |
| |||||||||
3dB带宽 | Bx·p | 500 | Hz |
| ||||||
*信号响应时间 | txs·s | 1．6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
误差 |
| |||||||||
*磁滞（峰峰值） | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*线性度（峰值） | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ | ||||
注意：
*这些参数由各转换器实测并提供。
①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。
②、这是Z轴可承受的最大负载。
③、这是2%的响应时间，这是伺服系统的闭环参数，用户可以控制，测试单位是500nm；
④、实际的位置噪音；
⑤、位移的百分比，意思是位移为1um则磁滞小于1nm。
⑥、误差为满量程的百分比。
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