在单晶硅的生产过程中,精密监测单晶硅炉内硅液液位是至关重要的。保持硅液液位的稳定可以确保晶体生长过程的均匀性和质量,同时避免材料浪费和设备损坏。当前主要的液位测量方案包括电容传感器、浮子式液位计以及超声波传感器等。其中,电容传感器具有高精度和响应快速的优点,但其对环境变化较为敏感;浮子式液位计结构简单,成本低廉,但在高温环境下易失效;超声波传感器可以在各种介质中工作,但在高温高压条件下性能会受到较大影响。 此外,该系列传感器可配备水冷保护壳,保障其在高温环境下不被损坏。传感器水室的巧妙设计保证了有效的冷却和保护,使其能够在接近高温目标的地方运行。 |
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