NS是一款用于线性测量的超精密干涉编码器测量系统。它可以避免激光干涉仪经常会遇到的湍流效应，同时提供纳米级可重复性和分辨率。NS兼容大多数现有的设计平台。 NS传感器是一款采用二极管光源的高精密电子设备。它用三相90-element的探测器通过扫描方式捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号，经过高度准确的插值方法和编码器对反射不敏感的条件下，这三个信号提供一个非常明确的测量相位。