随着半导体技术的不断发展，对晶圆衬底的表面质量要求越来越高。晶圆抛光雾是高质量抛光的重要参数之一，尤其是对晶圆精抛质量的评价更加重要。
晶圆抛光雾指抛光后再晶圆表面留下的微浅损伤缺陷（如高密度的凹坑、小丘和拉丝），该缺陷在强聚光灯照射下产生光的散射给人眼的感觉像雾。常规的雾度测量通过离线的方式来进行测量，但对于生产过程控制来说，十分不利。 真尚有晶圆雾度检测方案，可提供在线实时的雾度检测，能自动对比雾度值并生成雾度图，最终实现了生产过程中雾度在线自动检测。 优点：1.系统自动对焦
2.微米级缺陷检测能力
3.可定制
ZM105.2D系列二维高速投影图像测量仪是专为在线非接触二维批量测量线性尺寸、直径、角度、螺纹参数、零件形状、跳动等而研发的。
ZM105.2D系列二维高速投影图像测量仪使用“阴影”测量原理，即准直激光被传送到接收器，接收单元内的探测器阵列可以精确地测量光束路径中物体投射阴影的边缘。
ZM105.2D系列二维高速投影图像测量仪提供了一个简单直观的工具——测量方案，用户可以自行创建测量算法，ZM105.2D将根据用户创建的算法进行分析、测量和公差控制。
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ZM106系列边缘检测传感器用于非接触式测量和监控各种物体（如胶带、板、基板等）的边缘（边缘）位置。
ZM106系列边缘传感器基于“阴影”原理，由控制器和测量头组成，其中测量头有发射器和接收器两个模块。
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