如何高效且无损地对<10mm微小孔径进行±10µm级内径与形位公差检测？【精密制造】【自动化】

1. 微小孔径的基本结构与技术要求

在精密制造领域，微小孔径指的是直径通常在几十毫米甚至更小范围内的孔洞。这些孔径在各种部件中扮演着关键角色，例如喷油嘴、液压阀、医疗器械的流体通道、精密轴承座孔，以及高性能电池的堆叠铁芯内径等。它们的内部几何形状和尺寸精度，直接影响到产品的性能、可靠性和使用寿命。

想象一下，一个微型油缸的内壁。如果这个“圆筒”的内径不够精准，比如某些地方偏大或偏小，或者内壁不圆、有锥度甚至不直，那么活塞在里面移动时就可能出现卡滞、摩擦过大，或者无法形成有效密封导致泄漏。这些问题在微小孔径中被无限放大，即便0.01mm的误差，都可能造成严重的后果。因此，对微小孔径的检测远不止简单地测量其直径，还需要评估其几何形状的多个参数：

• 内径尺寸：最基本的参数，指孔洞的平均直径或特定截面的直径。

• 圆度：反映孔洞截面是否接近一个完美的圆形。如果孔不圆，就像一个轻微压扁的轮胎，会影响配合件的顺畅运动和密封性。

• 圆柱度：评估孔洞在轴向上的整体形状，是否是一个均匀的圆柱体。这就像检查一根笔杆，它不仅每个横截面要是圆的，而且从头到尾都应该是等粗的。

• 锥度：指孔径沿轴向逐渐变大或变小的程度。如果孔是锥形的，就无法保证配合件在不同深度都能紧密贴合。

• 直线度/同轴度：特别是在深孔或多孔系统中，孔的中心线是否笔直，或者多个孔的中心线是否在一条直线上，这对于实现精确对准和运动至关重要。

实现±0.01mm甚至更高精度的测量，意味着我们需要精确到头发丝的几分之一（一根头发大约是0.05-0.1mm）。这对测量技术提出了严苛的挑战，尤其是在微小孔径这种空间受限且通常要求非接触、快速测量的场景下。

2. 针对微小孔径的相关技术标准简介

针对微小孔径的测量，行业内有许多标准来规范这些几何参数的定义和评价方法，确保不同设备、不同时间测量的结果具有可比性。这些标准通常会详细阐述以下几类参数及其评定方式：

• 尺寸公差：定义了孔径允许的最大和最小尺寸范围。例如，一个标称直径为10mm的孔，如果公差是±0.01mm，那么实际测量值就必须在9.99mm到10.01mm之间。

• 形状公差：

  • 圆度误差：评定一个孔的实际圆形轮廓与理想圆形之间的最大径向偏差。通常通过最小二乘圆法、最小包容圆法、最大内接圆法或最大外接圆法来计算。想象将孔的实际轮廓拟合到一个理想圆上，圆度误差就是实际轮廓与理想圆之间最远点的距离。

  • 圆柱度误差：衡量一个孔的实际表面与理想圆柱面之间的最大距离。这需要沿着孔的轴线进行多截面测量，然后综合评估其圆度、直线度以及锥度等因素。

  • 锥度误差：通过测量孔在不同深度的直径，计算其在轴向上的直径变化率，以判断孔是否符合设计的锥度要求。

• 位置公差：

  • 同轴度误差：当一个零件有多个同心孔时，同轴度误差评估这些孔的中心轴线与基准轴线之间的偏差。这就像检查两个套在一起的圆筒，它们的中心线是否完全重合。

这些评价方法为测量设备提供了数据分析的理论依据，使设备能够将原始测量数据转化为有意义的质量控制参数。

3. 实时监测/检测技术方法

在±0.01mm精度下检测微小孔径，市面上有多种成熟的技术方案可供选择，它们各自有独特的工作原理和适用场景。我们将重点分析几种主流技术：

（1）、市面上各种相关技术方案

非接触式旋转激光三角测量

这是一种非常先进且适用于微小孔径的非接触式测量技术。它的核心是激光三角测量原理与高速旋转扫描的结合。

工作原理和物理基础：想象一下，我们想知道一个物体离我们有多远，但又不能直接用尺子量。激光三角测量就像是“几何学侦探”。它通过在一个已知的基线上，从一个固定角度发射一束激光，当激光束照射到被测物体表面时，光束会反射回来。反射回来的光线，由一个位于基线上另一个固定角度的接收器（通常是CCD或CMOS图像传感器）捕获。

具体来说，激光发射器、接收器和被测物体表面上的激光点共同形成一个三角形。由于发射器和接收器的相对位置以及它们之间的距离（基线长度）是精确已知的，激光束的发射角度也是固定的，那么当物体表面的激光点距离发生变化时，反射回来的光束在接收器上的落点位置也会发生变化。通过精确测量这个落点位置在传感器上的偏移量，结合几何三角函数关系，就可以反推出被测物体到传感器的距离。

例如，一个简化的距离计算可以基于以下原理：如果 L 是激光发射器和接收器之间的基线距离，alpha 是激光束发射角度，beta 是反射光线到达接收器时的入射角，那么到物体的距离 d 可以表示为 d = L * sin(alpha) / sin(sin(beta) + sin(alpha))。在实际应用中，由于传感器是阵列式的，通过像素位置 P_shift 与系统参数（如焦距 f、像素尺寸 s）结合，可以更精确地计算距离。例如，当激光点在传感器上的偏移量为 delta_x 时，对应的距离 delta_z 变化可以近似为 delta_z = (L * delta_x) / (f * cos(theta)^2)，其中 theta 为中心入射角。

对于内径测量，通常会将一个微型探头伸入孔径内部。探头内部集成了激光发射器和接收器。当探头在孔内高速旋转时，激光束就会以360度的方式扫描孔壁。每一次扫描都会采集大量的距离数据点，这些点勾勒出孔径的完整轮廓。通过对这些海量数据点的分析，不仅可以计算出精准的平均内径，还能进一步评估孔径的圆度、椭圆度、锥度、台阶甚至同轴度等复杂的几何参数。这种技术特别适合需要获取孔径全貌，而不仅仅是单一尺寸的场景。

核心性能参数的典型范围：* 测量精度：±0.5 µm 至 ±5 µm* 重复精度：±0.1 µm 至 ±1 µm* 采样频率：可达数千赫兹甚至更高* 测量范围：取决于探头尺寸，可小至几毫米，大至数百毫米。* 探头尺寸：目前市场上最小的探头直径可低至9mm。

技术方案的优缺点：* 优点： * 非接触式： 避免了对工件表面的任何划伤或磨损，特别适用于精密加工件、软质材料或高光洁度表面。 * 高精度与高速度： 能够达到微米级甚至亚微米级精度，并以较高的采样频率快速获取数据，实现高动态在线测量。 * 全面几何信息： 可获取内径的完整3D轮廓，对圆度、圆柱度、锥度、同轴度等多种形位公差进行评估。 * 适应性强： 采用不同波长的激光（如蓝色激光）可有效应对高反射或半透明材料的测量挑战。* 缺点： * 对表面条件敏感： 极端粗糙或高度不均匀的表面可能导致激光散射，影响测量稳定性。 * 探头尺寸限制： 虽然已有超小探头，但仍受限于物理尺寸，无法测量直径小于探头本身的孔径。 * 成本较高： 相较于一些传统接触式或气动测量方案，初期投入通常更高。

非接触式气动测量

工作原理和物理基础：气动测量就像是一个“吹气量尺”。它利用稳定的压缩空气，通过一个或多个微小的喷嘴喷向被测孔壁。当喷嘴靠近孔壁时，喷出的气流会受到阻碍，导致气流通过喷嘴后的背压发生变化。孔径越小（即喷嘴与孔壁之间的间隙越小），气流受到的阻碍就越大，背压也越高；反之，孔径越大，间隙越大，背压就越低。测量系统通过高精度的压力传感器检测这种微小的气压变化，并将其转换为电信号，从而精确反推出孔径尺寸。其物理基础是流体力学中的伯努利原理和流阻效应。当气流通过狭小间隙时，其速度增加，压力下降；反之，在受到限制后，动能转化为势能，压力升高。

核心性能参数的典型范围：* 测量精度：可达0.1 µm* 重复精度：优于0.05 µm* 测量范围：取决于测量头设计，通常几毫米到数百毫米。* 响应时间：快速，适合在线检测。

技术方案的优缺点：* 优点： * 超高精度与重复性： 能够达到亚微米甚至纳米级的测量精度，且重复性极佳。 * 非接触、无损伤： 对工件表面无任何物理接触，不会造成磨损或划伤。 * 对表面粗糙度不敏感： 气流能有效“抹平”表面微小粗糙度的影响。 * 高可靠性： 系统结构相对简单，长期稳定性好，特别适合批量、高速、高精度的内径测量。* 缺点： * 依赖标准件校准： 需要精确的已知尺寸标准件进行初始校准。 * 测量范围受限： 单个测量头只能在非常小的范围内进行高精度测量。 * 无法获取完整轮廓： 除非使用多个喷嘴或复杂的旋转机构，否则通常只能测量单一截面的平均直径，无法直接提供圆度、圆柱度等形位公差信息。 * 需要洁净气源： 压缩空气必须经过严格过滤，以避免喷嘴堵塞或污染物影响测量精度。

非接触式背光轮廓测量

工作原理和物理基础：这种技术就像是利用“影子”来测量尺寸。一个准直的平行光源（通常是LED或激光）作为背景光，照射待测物体。物体在光源前方形成一个清晰的阴影轮廓，这个阴影被高分辨率的CMOS或CCD图像传感器捕捉。系统通过分析图像中阴影边缘的像素位置，精确计算出物体的尺寸。对于内径测量，通常适用于浅孔或通孔，通过观察孔的投影尺寸来推断。物理基础是光学衍射和几何光学。当光线遇到物体边缘时会发生衍射，但通过准直光源和高分辨率传感器，可以精确地定义阴影边界。其尺寸计算公式简单直观：测量尺寸 = 阴影像素数量 * 单个像素的实际尺寸。

核心性能参数的典型范围：* 测量精度：±0.5 µm (典型值)* 重复精度：±0.15 µm (典型值)* 测量速度：最快每秒数万次采样* 测量范围：通常为几十毫米宽和高，适合相对较大的视野。

技术方案的优缺点：* 优点： * 高速、非接触： 能够在生产线上快速进行非接触式批量测量。 * 不受工件表面状况影响： 颜色、材料、表面粗糙度等对测量结果影响小。 * 操作简便： 易于设置和使用。 * 可测量复杂二维尺寸： 适合各种复杂形状的二维轮廓尺寸测量。* 缺点： * 主要进行二维测量： 只能获取物体投影的二维尺寸，不适用于获取孔径的深度信息或三维轮廓。 * 内径测量局限： 通常只能用于测量通过照明能够完整形成阴影的通孔或浅孔，对于深孔或盲孔的内径测量能力有限。 * 对环境光敏感： 尽管有抗干扰设计，但过强的环境光可能影响测量稳定性。

接触式电子探头测量

工作原理和物理基础：接触式电子探头测量是一种直接、可靠的方法。它就像用一个精密的“机械手指”去触摸孔壁。探头内部集成有高精度的线性位移传感器，例如LVDT（线性可变差动变压器）或半桥电感传感器。当探头的测量触点与待测孔径内壁接触时，孔径尺寸的变化会引起触点的微小位移。这个机械位移被内部传感器实时捕捉并转换为精确的电信号。控制器接收并放大这些信号，最终以数字形式显示出内径尺寸。LVDT的物理基础是电磁感应。它有一个初级线圈和两个次级线圈。初级线圈通交流电产生磁场，磁场通过一个可移动的铁芯耦合到次级线圈。当铁芯随着探头触点的位移而移动时，两个次级线圈感应到的电压差会发生变化。这个电压差与铁芯的位移量成精确的线性关系。

核心性能参数的典型范围：* 测量精度：优于±1 µm* 重复精度：优于±0.5 µm* 测量范围：根据探头型号，通常覆盖0.5 mm至200 mm。* 响应速度：非常快，适用于高速自动化线。

技术方案的优缺点：* 优点： * 高精度与稳定性： 测量精度和重复性极高，且在工业环境下表现出良好的稳定性。 * 坚固耐用： 探头设计通常非常坚固，适用于严苛的工业环境。 * 响应速度快： 能够进行高速在线或近线检测。 * 测量直接可靠： 机械接触提供直观的测量结果，对表面反射特性不敏感。* 缺点： * 接触式测量： 测量过程中探头与工件表面有物理接触，可能对精密工件造成微小磨损或划伤，长期使用探头本身也会有磨损。 * 无法获取完整轮廓： 通常只能测量单个或有限几个点的直径，难以获取孔径的完整轮廓，因此无法直接评估圆度、圆柱度等形位公差（除非配合复杂的运动系统进行扫描）。 * 探头更换频繁： 针对不同尺寸的孔径通常需要更换不同尺寸的测量探头。

（2）、市场主流品牌/产品对比

接下来，我们来看看市面上一些知名品牌在微小孔径测量方面的解决方案：

• 日本基恩士： 日本基恩士的TM-X5000系列激光测量仪，采用背光轮廓测量技术。这种非接触式光学测量方式通过准直背光照射工件，由高分辨率CMOS传感器捕捉阴影轮廓，从而精确计算内径、外径、高度等尺寸。其典型测量精度可达±0.5 µm，重复精度±0.15 µm，采样速度高达每秒64000次。日本基恩士的优势在于其高速、高精度、可在生产线上进行非接触式批量测量，且不受工件表面颜色或材料影响，操作简便，适用于各种复杂尺寸的二维测量，尤其在自动化测量领域有领先地位。

• 英国真尚有： 英国真尚有的ZLDS104小孔内径传感器，是一款专为小孔内径在线测量设计的激光测径传感器。该传感器的探头直径为9mm，可测量的最小内径为9.2mm，最大测量范围为48mm。它采用非接触式激光三角测量原理，通过旋转扫描孔壁，实现对内径、椭圆度、锥度、台阶、同轴度等参数的评估。其精度可达到±2µm，采样频率高达9.4kHz。该传感器提供蓝色和红色激光版本，蓝色激光更适用于高反射或半透明材料的测量。此外，该传感器具备IP67防护等级，以及良好的抗振动和抗冲击能力。

• 意大利马波斯： 意大利马波斯的BLU系列内径激光测量系统，采用旋转激光扫描技术，其微型激光探头可引入待测铁芯内径进行扫描。系统通过测量激光束从发射到反射回接收器的时间（飞行时间原理）或角度，结合探头旋转编码器信息，精确重建内径的完整三维轮廓和尺寸数据。测量范围通常为3mm至300mm，精度可达±1 µm，扫描时间低至数秒。意大利马波斯BLU系统具备真正的非接触测量、能够获取内径完整几何信息（包括圆度、圆柱度、锥度等）、适用于深孔和复杂形状内径测量，是自动化生产线上内径批量检测的理想选择，尤其在机内和后处理测量领域表现突出。

• 德国马尔： 德国马尔的Millimar C1200 / C1204气动测量放大器配合气动测量头，采用非接触式气动测量原理。它利用压缩空气通过测量喷嘴，通过检测气流受限导致的气压变化来精确测量内径。这种方法具有超高灵敏度，测量精度可达0.1 µm，重复精度优于0.05 µm。德国马尔的优势在于测量速度快，对工件表面无损伤，对表面粗糙度不敏感，可靠性高，特别适合批量、高速、高精度的内径测量。德国马尔在精密长度计量领域是全球领导者之一。

• 瑞士穆尔： 瑞士穆尔的EAM/EAL系列电子接触式内径测量探头与控制器，采用接触式电子探头测量技术。探头内部集成了高精度的线性位移传感器（如LVDT），当探头接触并进入待测孔径时，测量触点因内径尺寸变化而位移，位移传感器将其转换为电信号进行处理。测量精度优于±1 µm，重复精度优于±0.5 µm，响应速度非常快，适用范围广（0.5mm至200mm甚至更大）。瑞士穆尔的优势在于测量速度快、精度高、稳定性好，探头坚固耐用，易于集成到自动化生产线中，实现全自动检测。

（3）选择设备/传感器时需要重点关注的技术指标及选型建议

选择合适的微小孔径测量设备，需要综合考虑多个技术指标，并结合实际应用场景做出决策。

1. 精度 (Accuracy) 与重复精度 (Repeatability)：

   • 实际意义： 精度代表测量结果与真实值之间的接近程度，重复精度则衡量多次测量同一位置时结果的一致性。例如，±0.01mm的精度意味着测量值与实际值之间的最大偏差不超过0.01mm。

   • 影响： 精度是衡量测量设备好坏的核心指标。如果精度不足，即便读数稳定也无法反映真实情况，导致产品质量失控。重复精度差则意味着测量结果不可靠，即使产品合格也可能被误判。

   • 选型建议： 对于±0.01mm的检测需求，需要选择标称精度和重复精度都在微米（μm）级别的设备，通常要求其标称精度至少优于±0.005mm (5µm)，最好能达到±0.002mm (2µm) 甚至更高，以确保有足够的裕量。

2. 测量范围 (Measuring Range) 与探头尺寸 (Probe Size)：

   • 实际意义： 测量范围指设备能测量的孔径尺寸区间。探头尺寸则是测量探头本身的最小直径。

   • 影响： 探头尺寸直接决定了设备能检测的最小孔径。测量范围则决定了设备的应用广度。

   • 选型建议： 确保探头直径小于待测的最小孔径。例如，要测量9.2mm的孔，探头直径必须小于9.2mm。同时，检查测量范围是否覆盖所有需要检测的孔径尺寸。对于变径孔或多型号孔径，选择具有较宽测量范围或模块化探头设计的系统更为灵活。

3. 测量方式 (接触式/非接触式)：

   • 实际意义： 接触式意味着探头会物理接触工件表面；非接触式则通过光、声、气等介质进行测量，不与工件直接接触。

   • 影响： 接触式可能对工件表面造成磨损、划伤，或探头本身磨损，影响长期精度；非接触式则无此忧虑。但非接触式对表面材质、光洁度、环境灰尘等可能更敏感。

   • 选型建议： 对于高价值、高光洁度、软质材料或易损的微孔，优先考虑非接触式方案，如激光测量、气动测量。对于对表面损伤不敏感、追求极高稳定性和快速单点测量的场景，接触式探头也是可靠的选择。

4. 测量速度 (Measurement Speed) 与采样频率 (Sampling Rate)：

   • 实际意义： 测量速度指完成一次测量所需的时间。采样频率指传感器每秒能采集多少个数据点。

   • 影响： 在线检测或自动化生产线对速度要求很高。采样频率越高，能获取的细节数据越多，对动态变化或形位公差的评估越精确。

   • 选型建议： 对于高速自动化生产线，选择采样频率高（千赫兹级别）、测量周期短的设备。如果需要获取完整形貌（如圆度、圆柱度），旋转扫描式激光测量的采样频率和旋转速度就显得尤为关键。

5. 可获取的几何信息 (Geometric Information)：

   • 实际意义： 指设备除了内径尺寸外，还能评估哪些形位公差，如圆度、圆柱度、锥度、同轴度等。

   • 影响： 单纯的直径数据可能无法满足复杂零件的质量控制要求。

   • 选型建议： 如果质量控制要求涵盖圆度、圆柱度等复杂形位公差，必须选择能够提供完整3D轮廓数据的设备，如旋转激光扫描系统。如果只需要单一截面的平均直径，气动测量或接触式探头可能更经济高效。

6. 环境适应性 (Environmental Adaptability)：

   • 实际意义： 设备在不同温度、湿度、振动、粉尘等工业环境下的稳定工作能力。

   • 影响： 恶劣环境可能导致设备测量数据漂移、故障率增加或寿命缩短。

   • 选型建议： 对于车间或生产线上的应用，优先选择防护等级高（如IP67）、抗振动和抗冲击能力强的设备，以及具备宽工作温度范围的产品。

（4）实际应用中可能遇到的问题和相应解决建议

在微小孔径的高精度测量中，即便选择了最先进的设备，实际应用中也可能遇到一些挑战：

1. 问题：工件表面状态不佳

   • 原因与影响：

     • 高反射或半反射表面： 某些金属孔壁高度抛光，激光束可能产生镜面反射或散射不均，导致接收器信号不足或过饱和，影响激光三角测量精度。

     • 粗糙或纹理表面： 过度粗糙的表面会使激光散射，难以形成清晰的光斑图像，影响测量稳定性。

     • 油污、灰尘、切削液： 这些附着物会改变光路或堵塞气路，直接干扰非接触式测量的信号。

   • 解决方案与预防措施：

     • 采用特定波长激光： 某些激光传感器提供不同波长的激光，例如蓝色激光对高反射材料的穿透性和散射特性更好，能提高测量稳定性。

     • 优化光斑或入射角： 调整激光光斑大小或入射角，减少镜面反射影响。

     • 工件清洁： 测量前对工件进行严格清洁，去除油污、灰尘和切削液，确保表面干净。对于气动测量，需确保气源洁净。

     • 接触式方案： 如果非接触式方案难以克服，可考虑接触式探头，它对表面状态不敏感。

2. 问题：环境因素干扰

   • 原因与影响：

     • 温度变化： 金属工件、测量设备本身都会随温度膨胀或收缩，导致测量结果漂移，尤其在微米级精度要求下。

     • 振动： 生产线上的机械振动会引起工件或传感器的相对位移，造成测量误差。

     • 气流扰动： 气动测量对环境气流敏感，可能导致压力波动。

   • 解决方案与预防措施：

     • 温度控制： 在恒温环境下进行高精度测量，或使用具备温度补偿功能的设备。对工件进行充分的温度稳定（均温）处理。

     • 减振措施： 将测量设备安装在减振平台上，或选用抗振能力强的探头。

     • 环境防护： 为气动测量系统提供防风罩或隔离罩，减少环境气流干扰。

3. 问题：探头与孔径的对中与定位

   • 原因与影响： 在将探头插入微小孔径时，如果对中精度不够，探头可能与孔壁发生碰撞，损坏探头或工件。即使未碰撞，偏心插入也可能导致测量数据失真，尤其在评估圆度、圆柱度等形位公差时。

   • 解决方案与预防措施：

     • 高精度定位系统： 配合机械臂或高精度XYZ平台，确保探头能够精确、稳定地对中并插入孔径。

     • 视觉引导： 结合机器视觉系统，实时监控探头与孔口的相对位置，辅助精确对中。

     • 柔性连接： 在探头与机械臂之间采用柔性连接，允许一定的容错性，减少硬碰撞风险。

     • 锥形导向： 在探头前段设计锥形导向结构，方便初步对中。

4. 问题：数据处理与分析的复杂性

   • 原因与影响： 尤其是旋转扫描激光测量，会产生海量数据点。如果处理软件不够强大或算法不优化，可能导致数据分析缓慢、结果不准确或难以直观呈现。

   • 解决方案与预防措施：

     • 专业测量软件： 选择配备强大、易用且算法优化的专业测量软件的系统，能够快速准确地处理数据并生成各类形位公差报告。

     • 数据可视化： 软件应提供直观的3D视图和数据可视化功能，帮助工程师快速理解孔径的几何缺陷。

     • 自动化分析： 配置自动报表生成和数据接口，方便与MES/SCADA系统集成，实现数据追溯和质量管理。

4. 应用案例分享

• 航空航天发动机部件检测： 在制造航空发动机的叶片、涡轮盘等精密部件时，其内部冷却孔、安装孔等微小孔径的尺寸、圆度和锥度至关重要。采用非接触式旋转激光测量技术，可以在不损伤部件表面的情况下，快速获取这些复杂孔径的几何数据，确保发动机性能和安全。

• 医疗器械精密导管制造： 医疗领域的心血管支架、导管等产品，其内部流体通道的直径、圆度及表面光洁度直接影响输送效率和生物相容性。激光或气动测量技术可用于在线检测这些微细管路的内径，确保符合严格的医疗标准。英国真尚有的ZLDS104小孔内径传感器，由于其探头尺寸小，精度高，可以用于此类微细管路的内径检测。

• 汽车零部件精密阀孔检测： 汽车发动机的喷油嘴、液压系统中的阀体等，其内部的微小油孔、阀孔尺寸精度和形状公差（如圆度、同轴度）直接影响燃油效率和系统响应速度。高精度内径测量技术能够帮助制造商精确控制这些关键尺寸，提升产品性能。

• 精密轴承及轴套制造： 轴承内圈、轴套的内径精度、圆度及圆柱度是影响轴承运行平稳性和寿命的关键因素。采用气动测量或高精度接触式探头，可以快速、准确地对这些孔径进行批量检测，确保产品质量。

• 新能源电池堆叠铁芯内径测量： 在新能源汽车电池的制造中，堆叠铁芯的内径精度对电池的封装和性能有直接影响。非接触式激光扫描技术可以对这些微小而数量庞大的铁芯内径进行高效、高精度的检测，确保生产一致性。