ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。
当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。
ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。
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ZNX超精密电容位移传感器特点：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；线性最高0.02%；
(2)、对位置的尺度变化非常敏感，精确测量到皮米级位移变化；
(3)、可调谐以满足应用要求；
(4)、高精度，线性度最高可至0.02%FS；
(5)、高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移；
(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，极端低温，强辐射。
ZNX超精密电容位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
ZNX超精密电容位移传感器技术规格：
传感器型号 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
灵敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
温漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
灵敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
温漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作温度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头） | ||
存储温度 | 0～+70℃ | ||
相对湿度 | 5～95%（无冷凝） | ||
频响Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型号 | CC-A-4101 | ||
传感器通道最大个数 | 1 | ||
供电 | ±15V，75mA | ||
模拟输出V | ±10 | ||
数字输出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
频响Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
ZNX超精密电容位移传感器测量原理：
ZNX超精密电容位移传感器安装尺寸：
内径测量仪精密轮廓检测系统微观型面测量系统静态形变测量系统精密在线测厚系统振动测量系统无人警卫船光伏清洁机器人智能垃圾压实机智能机器人自稳定无人机起落平台空气质量检测仪桥梁结构健康检测系统其他检测系统
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