ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板,一个目标和一个探头,形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围,频率响应高达 5KHz,线性度低至 0.02%。高热稳定性结构(提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项)材料选择以最大限度地减少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作,并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。
当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时,电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化,此比例可由用户设置。
ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。
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ZNX超精密电容位移传感器特点:
(1)、量程20~1250μm; 分辨率<0.1nm;线性最高0.02%;
(2)、对位置的尺度变化非常敏感,精确测量到皮米级位移变化;
(3)、可调谐以满足应用要求;
(4)、高精度,线性度最高可至0.02%FS;
(5)、高热稳定性结构(提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项)材料选择以最大限度地减少位置漂移;
(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战,可用于真空,极端低温,强辐射。
ZNX超精密电容位移传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZNX超精密电容位移传感器技术规格:
传感器型号 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
灵敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
温漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
灵敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
温漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作温度 | +10~+50℃(控制器);-273~+80℃(探头) | ||
存储温度 | 0~+70℃ | ||
相对湿度 | 5~95%(无冷凝) | ||
频响Hz | 50/500/5000 |
控制器型号 | CC-A-4101 | ||
传感器通道最大个数 | 1 | ||
供电 | ±15V,75mA | ||
模拟输出V | ±10 | ||
数字输出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
频响Hz | 100 or 1k or 10k |
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
ZNX超精密电容位移传感器测量原理:
ZNX超精密电容位移传感器安装尺寸:
英国真尚有_低成本_电涡流传感器|0.1um电涡流位移传感器|ZED23
低成本电涡流传感器ZED23是一款高性能非接触线性位移测量系统。该电涡流位移传感器是基于平衡电桥涡流技术研制成功的,使用简单,性能优越,可以用于各种极端环境。无论是用于科学研究还是自动化的过程控制,系统都能表现其优异的性能。
ZED23有非常卓越的分辨率和速度性能(0.1µm分辨率,50KHz高响应),多传感器同步功能,符合环保RoHS和安全CE标准等顶极性能,获2007美国传感器金奖。
ZED23是轨导DIN式结构,该系统非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中,可配30种传感器头,覆盖量程0.5~60mm,可测量铁磁和非铁磁所有金属材料。
ZED23可用于实验室、过程自动化控制等。用户可自行调整零位、增益和线性满足各种实际需求,也可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。
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英国真尚有_0.1nm差动电涡流传感器|超稳定电涡流位移传感器 | ZED51
埃米级超稳定差动电涡流传感器ZED51具有坚固的结构,平均故障间隔时间超过 55,000 小时,太空飞行环境中的平均故障间隔时间为 238,000 小时。而且ZED51 的小封装尺寸(仅 2 x 2.12 x 0.75 英寸) 厚)使该系统成为空间受限的应用的理想选择。
电涡流位移传感器ZED51即使暴露于所有自然或在制造、测试、运输、搬运、储存、安装和拆卸操作过程中遇到的诱发环境后仍然能够达到指定的性能。
ZED51无需定期维护和调整,且无需特殊工具即可拆卸和更换。
该系列的低温版本传感器具有内部膨胀节,当使用 Belleville 垫圈螺钉安装时,可有效消除应力或温度引起的机械变形。该传感器已确认在 70°Kelvin的液氮中具有最佳性能。一些航空航天应用在 4°K的液氦环境中也有效地使用了该传感器。
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英国真尚有_电容传感器 | 电容式传感器 | 电容位移传感器(CWCS10)
CWCS10纳米级电容传感器采用电容式测量原理,无需接触被测物即可测量传感器与被测物表面之间的距离,并且具有纳米级的分辨率。
CWCS10纳米级电容传感器的最高工作温度受连接器内部焊接材料的熔化温度限制,标准探头也能在接近绝对零度的极低温度下进行测量。并且由于传感器的灵敏度容差很小,因此更换探头后无需重新校准仍然可以保证 ±0.5% 的总精度。对于特殊应用,纳米级电容传感器CWCS10的输出电压的灵敏度还可以调整为 0 到 10 倍。
CWCS10纳米级电容传感器测量受电介质特性的影响。通常用于空气中的测量,传感器和目标之间的区域应该完全没有灰尘、油或水。如有必要,这可以通过将空气吹过传感器和目标之间的间隙来实现。
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