ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。

ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。

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SCE(IR)-HR-C1光谱共焦传感器完美适用于非接触式测量轮廓和层厚度。 该传感器采用了两种不同的测量方法，可以进行 30 µm 至 1200 mm 的厚度测量，距离测量的横向分辨率在次微米范围内。 高强度光源和不同寻常的高动态性能可通过卓越的信噪比确保具有不同反射强度和倾斜度的表面上最佳的测量结果。

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LP-IM200皮米级干涉位移传感器是一种功能强大的非接触式位移测量系统。该控制器包含激光、探测电子器件，并通过多个接口提供所有数据。LP-IM200干涉仪控制器包含一个激光源和所有必要的电子器件来评估光信号。强大的固件模块，方便的软件和多功能的配件允许轻松集成LP-IM200干涉仪控制器到新的或已经存在的测量设置。

针对不同的应用情况，还可以提供多个不同的可选传感器头及配件：

（1）、一般用途的紧凑型传感器头，具有许多方便的功能。

（2）、具有准直光束的传感器头，可用于远距离和反向反射目标。 

（3）、具有聚焦光束的传感器头具有较高的对准公差。

（4）、线聚焦光束用于圆柱形目标的传感器头。

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