ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。

ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。

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CWCS10纳米级电容传感器采用电容式测量原理，无需接触被测物即可测量传感器与被测物表面之间的距离，并且具有纳米级的分辨率。

CWCS10纳米级电容传感器的最高工作温度受连接器内部焊接材料的熔化温度限制，标准探头也能在接近绝对零度的极低温度下进行测量。并且由于传感器的灵敏度容差很小，因此更换探头后无需重新校准仍然可以保证 ±0.5% 的总精度。对于特殊应用，纳米级电容传感器CWCS10的输出电压的灵敏度还可以调整为 0 到 10 倍。

CWCS10纳米级电容传感器测量受电介质特性的影响。通常用于空气中的测量，传感器和目标之间的区域应该完全没有灰尘、油或水。如有必要，这可以通过将空气吹过传感器和目标之间的间隙来实现。

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LP-IM100皮米干涉位移传感器 可测量纳米范围内的位移（增量距离）。LP-IM100 采用模块化和小型化设计，可轻松使所有三个测量轴适应各种应用。

凭借其紧凑的尺寸，LP-IM100干涉位移传感器可以直接集成到机器中，是具有挑战性的OEM和同步加速器应用的首选产品。被动冷却的外壳最大限度地减少了噪音和振动，并避免干扰其他光学和电气部件。

对于更受限制的应用，传感器头可以远程操作，并通过玻璃纤维互连。位移测量干涉仪的法布里-珀罗技术使得传感器头具有更少的部件，因此测量更稳定。

各种数字和模拟实时接口和协议使位置数据的简单传输成为可能。用于实时数据通信的高速接口有AquadB、专有串行字(HSSL)、合成模拟sin/cos/和线性模拟输出信号。所有信号可以输出为单端(LVTTL)或差分(LVDS)。

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